ニコンと蘭ASML社は2004年9月2日、2社間で係争中の訴訟について和解の方向で合意に達したと発表した。和解の基本条件には、ASMLからニコンへの金銭の支払いと2社間のクロスライセンスが含まれている。今月中をめどに基本合意覚書の締結を予定している。

この契約により、2社が米国とアジア各国で係争中だった訴訟や行政手続の一時停止を管轄の裁判所および行政機関に要請する。

ニコンは2001年にASMLを米国カリフォルニア州北部地区連邦裁判所および米国国際貿易委員会（ITC: International Trade Commission）に米国特許侵害で提訴。ニコンの保有する露光装置の特許をASMLが侵害しているとして、ASMLの露光装置の米国への輸入差し止めや損害賠償を求めていた。対するASMLは特許そのものを無効と主張、反トラスト法に抵触するとして逆提訴、その後も両者は訴訟合戦を繰り広げ、泥沼化の様相を呈していた。