ロシアでのEUVリソグラフィの光源開発や光学測定評価状況が明らかになった。国際科学技術センター（ISTC：International Science and Technology Center）のプログラムの一環で行われている、「31回ISTC Japan Workshop（EUV）」の中で報告されたもの。ISTCは、1994年3月に日本や米国、EU、ロシア政府によって、旧ソ連邦諸国で大量破壊兵器開発に関連した研究者に平和目的の研究プロジェクトに従事する機会を与え、拡散防止、同諸国の市場経済移行を促進する目的で設立された。

　ロシアでのこのEUVリソグラフィ関連プログラムは、2002年10月から開始し期間は2005年9月までとなっている。ロシア側からはIoffe Institute（A. F. Ioffe Physico-Technical Institute of Russian Academy of Science）やNIILP（Scientific Research Institute of Laser Physics）、Efremov Institute（D.V. Efremov Research Institute of Electrophysical Equipment）、VNIEP （Science Institute of Experimental Physics）の四つの研究機関がこのプログラムに参加しておりASET（Association of Super Advanced Electronic Technologies：超先端電子技術開発機構）と共同して基礎研究を行っている。

　Ioffe Instituteの一画に、レーザー光を金属ターゲット上でEUV変換し無機の感光材料を用いて露光する実験機を導入した。装置は二つのチャンバから成り、照明光学系からマスクまでEUV光が通るようにパイプで照明光学系と露光系を接続させた構成になっている。またEfremov Institute では、レーザーの開発を行いIoffe Institute にまさに出荷しようとしている。VNIEPでは液体Xeの研究を、NIILPでは照明系と露光系の見積もりを行い表面が滑らかなミラーを製作中だという。

　また、Workshopの最後に日本のEUVリソグラフィの開発状況の説明をロシアの研究者らに向けて行われた。極端紫外線露光システム技術開発機構（EUVA）では液体Xeの導入口で振動を与えて水滴を生成し、それにレーザーを与えることで集光点でのEUV出力が4.1Wに到達したとことを明らかにした。
　（土屋　一雄）