2004年10月13日

ASMIがIMECとの戦略的な提携関係を拡大
 蘭ASM InternationalがベルギーIMECと戦略的パートナーシップを結んだ。ASMIは2004年第4四半期からIMECにトランジスタ形成工程用装置の納入を開始し、また、複数の研究プログラムに参加する。契約には、IMECの300mm/45nm以降の研究プログラムへの3年間の参加も含まれている。

 納入されるのは300mmウェーハ対応のトランジスタ形成工程用製造装置で、ゲート電極用のALD(Atomic Layer Deposition)装置「Polygon ALCVD」、接合/コンタクト形成工程用のRTP(Rapid Thermal Processing)装置「Levitor」、歪みSi形成などに対応するエピ成長装置「Epsilon」、その他、縦型拡散炉「A412」などがIMECのパイロットラインに設置され、新材料、新構造トランジスタや新しい製造プロセスの研究が行われる。

 ASMIは、1994年からIMECへの協力を開始し、また、欧州の同社デモ・研究ラボをIMECのあるLeuvenに移していた。2000年からはASM BelgiumはIMECの研究センターの一部として機能している。

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