ラサ工業が300mmテスト用Siウェーハ再生工場を35億円を投じて新設する。同社宮城県にある三木本工場において、今年10月に第1期工事を開始し、2005年4月下旬に完成する予定。建屋面積は5000m2で、300mmウェーハ再生能力は月3万枚となる。建屋は月10万枚の生産能力に対応しているが、再生機械設備については今後の受注状況により逐次増設を行っていくとしている。

　ラサ工業の現在の300mmウェーハ再生能力は月5万枚規模。新工場と既存工場を合わせると、再生能力は200mmウェーハ以下の合計で200mmウェーハ換算で月30万枚、300mmは9万枚に達する。同社は既存の工場の増設も進めており、2004年内には現状のおよそ20％の能力拡大を目指しているという。

　2003年から主要半導体メーカーの300mm工場が稼動を開始し、今年に入ってから急速に拡大した。ラサ工業によると、300mmテスト用Siウェーハも昨年以降大幅な増加に転じ、さらに大幅な需要増大が見込めるとしている。