2004年10月21日

BOC Edwards、Akrionから薬品調合・供給装置を大量受注
 米国のBOC Edwards社は、Akrion社から新規に19台の薬品調合・供給装置を受注したと発表した。Akrionは、アジアにある主要の工場で超音波ウェーハ洗浄装置「Goldfinger Mach2HP」のサポートを強化していく。この薬品調合・供給装置は、Akrionのプロセス装置を補完するためにカスタマイズされており、用力室(ファシリティエリア)だけでなく、洗浄装置の近くに設置することができる。また、柔軟に対応をするため複数の薬品を処理できるように設計されており、2004年第4四半期から出荷を開始する。

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