2004年11月16日

アルバック・ファイ、C60イオン銃搭載のXPS装置を販売開始
 アルバック・ファイは、英IONOPTIKA社と共同でC60イオン銃(06−C60)を開発し、このC60イオン銃を搭載したX線光電子分析装置(XPS:X-ray Photoelectron Spectroscopy)の販売を開始した。

 ナノメートル・レベルの膜厚の有機薄膜や有機積層材料は、高機能ポリマー膜や有機表示デバイス、有機半導体デバイス、環境およびバイオ分野など広範囲で利用されている。これらの有機薄膜・積層材料の研究・開発では、表面や内部の化学構造解析が必要となる。しかし、従来のXPSでは深さ方向の分析にArイオンによるエッチングに用いるため、試料の損傷が大きく深さ方向に分析することが困難だったという。

 C60イオンは、Arイオンと比較して試料の損傷がほとんどないため、有機薄膜内部の化学構造や有機積層材料の界面構造の分析が可能になった。同社では、無機化合物についても同様な効果が期待できるため、今後は無機化合物へも展開する予定としている。

 初年度には10台の販売を、3年後には30台程度の販売を計画している。

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