横河電機は、CMOSイメージセンサー用テスター「UltraEye CIS テストシステム」と「TS6650 CCD/CIS テストシステム」の販売を12月より開始する。両製品は、イメージセンサーの前工程および後工程において画質欠陥や電気特性の検査への使用が可能となっている。価格は、UltraEye CIS テストシステムが2000万円から、TS6650 CCD/CIS テストシステムは3000万円から。販売目標は両製品とも2005年度で100台を予定している。

　UltraEye CIS テストシステムは、同社のSoCテスター「TS6000」のプラットフォームを使用し、ロジック回路中心のCMOSイメージセンサーに特化することでスループットは従来比4倍を実現した。また、LCDの欠陥検査技術を応用し、点欠陥、線欠陥、シミ、ムラなどの欠陥検出アルゴリズムを搭載している。

　TS6650 CCD/CIS テストシステムは、CCD/CMOS兼用で、多機能CCDの完全並列テストが可能となっている。画像処理を並列化、多重化することでテスト時間を大幅に短縮した。スループットは従来比2倍となった。ハードウエア、ソフトウエアともに従来製品と互換性を確保したため、既存のテストシステムの増設オプションとしても提供できるとしている。