安川電機は、半導体装置向けにナノレベルの超精密位置決めと、正確な移動を可能とする超精密ＸＹエアステージを開発した。

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2005年3月21日から販売を開始する。

　この超精密XYエアステージは、エアベアリングとリニアモータを採用したことにより、駆動系を含めたメカ系の非接触構造を実現した。これにより、摩擦による発塵や摩擦熱、磨耗による変形を防止できる。さらに、注油・グリスアップが不要になったため油の飛散も無くなり、クリーン環境に対応可能となった。さらに、高性能リニアスケール（位置検出器）を採用したため、レーザ干渉計（位置検出器）に比べ環境に左右されにくく、ステージ位置を直接検出するため駆動系からステージまでのメカ的な誤差を排除できる。これにより高い位置再現性と繰り返し位置決め精度±10nmを実現した。

　また、光学系の検査装置等で求められる移動中の精度にも対応するため、動作中の推力変動が小さいコアレス構造のリニアモータを採用し、速度安定性±0.05％（50mm/s）を実現した。 エアベアリング部には、エア噴出口のみでなくエア吸い込み口を設け、エアの層を均一に保ち、滑らかな走りと安定した直進性を確保した。 このため、光学系の検査装置や、露光装置等に適したステージとなっている。

　価格は3800万円からとなっており、年間20台の販売を計画している。なお、本製品は、12月１日（水）から３日（金）まで幕張メッセで開催される「セミコンジャパン2004」で展示実演する予定となっている。