安川電機は、300mmウエーハ対応の搬送ロボット「MOTOMAN-RC1000G」を開発し、

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2004年12月１日から販売を開始すると発表した。

　MOTOMAN-RC1000Gは、多関節アーム機構を採用したことで、アームを伸ばした際の到達範囲（1076mm：ロボット旋回中心からロボットアーム先端のハンド取り付け中心まで）に拡大した。これにより、搬送機構の中でもっとも大きな発塵の原因となっていた走行機構をなくし搬送することが可能となった。ロボット全体を移動させる際に大きな気流の乱れも発生しないため、周囲の塵がウエーハに付着する可能性を最小限に抑えている。

　また、多関節アーム機構により、アーム全体を折りたたみ旋回動作姿勢を非常に小さくできるため、アームを伸ばしたときにはロングリーチ、たたんだ時は小回りの効く動作姿勢と、広い搬送領域と小さな動作範囲の両立を実現している。これにより、装置内のロボット干渉スペースを小さくし、装置内のレイアウト自由度を上げ、装置全体をコンパクトに設計できる。

　さらに、同製品の多関節アーム機構は、単腕でありながらアーム先端に２つのハンドを装備できる。それぞれにモータが接続されているため、独自に回転動作が可能になっている。これら２つのハンドの使い方で、処理前・処理後を区別したウエーハ搬送や、処理室にあるウエーハを取り出し新たにウエーハをセットする入れ替え作業を１度に行えるなど、さまざまなアプリケーションに柔軟に対応し、かつ高い搬送効率を実現している。

　価格は450万円となっており、1年間に1000台の販売を予定している。また、幕張メッセで開催される「セミコンジャパン2004」の出展ブース内で展示予定となっている。