オーストリアSEZ社は、同社カスタマー・アプリケーションラボ（CAL）を拡張すると発表した。CALは、2004年7月に横浜に開設され、アンダーバンプメタル（UBM）エッチや基板エッチ、ウェーハ薄化などの後工程アセンブリやパッケージングアプリケーション向けのデモとプロセスサポートを行う。また、65nm以降のCu配線やLow-k/High-k膜および最先端パッケージ技術に関連した洗浄要求にも応えるためデモ機能を拡充していく。日本市場での枚葉式洗浄装置「Da VINCI」の拡販を進めていく方針だ。