米Brooks Automation社子会社の米Brooks Software社のリアルタイム・ディスパッチャ「Real-Time Dispatcher(RTD)」とレチクル管理ソリューション「iReticles」を米Freescale Semiconductor社が採用したと発表した。Freescaleは、同社MOS-11工場にiReticlesとRTDをセットで導入し、レチクル製造ラインの搬送の効率化を図り、生産性を向上する。
iReticlesとRTDにより、ユーザーはレチクル製造工程を自動でモニターし、レポートを受けとることができる。同製品によりマスク搬送の総合的な管理が可能。リアルタイムで製造ラインを制御する「Sense Decide Respond」機能も組み込まれているため、ルールベースの制御によりマスク設計からマスク製造ライン、半導体工場までのディスパッチを行うことができる。このシステムにより必要に応じ適切な製造ライン、露光装置にマスクを搬送し、また、iReticlesによりレチクルの在庫の管理も可能になる。