米Green, Tweed & Co.社がFPD(フラットパネルディスプレイ)製造装置用のフロエラストマー「FPD Blue 707」を発売した。FPD Blue 707は、含有金属イオンや微粒子の発生を抑え、既存フッ素ゴムに比べ汚染を最小限に抑えることを可能にした。浸食性化学薬品への耐性も高く、また、220℃までの耐熱性も実証されているため、酸素プラズマを使用するプラズマエッチング装置やCVD装置に対応する。同製品の導入により装置寿命やメンテナンスを延長し、また、次世代プロセスにも適用できるとしている。
Green, Tweed & Co.では、FPD Blue 707をFPD製造装置に使用される超大口径Oリング形状や同社独自のシール形状「Dovetail」など多種多様なサイズで提供していく。また、各社FPD製造装置用シールおよびシール溝構造の検証を行い、高性能でダウンタイムを短縮できるシールの提案も行っていくとしている。
