米Advaned Energy（AE）社がPVD装置用の新型DC電力変換制御システム「Summit」シリーズを発表した。Summitは、DC 300〜3000Vで最大50kWの電力供給が可能で、入力範囲は380〜480VACに対応した。プラズマへの供給エネルギーは12mJと極めて小さく、装置の信頼性、アップタイムの向上に寄与している。さらに、アーク管理には独自のパルスアクセサリ技術「Pulsar」を搭載した。 Pulsarによりアークダメージによる汚染を低減し、また、化合物材料の成膜時に膜密度を向上できるとしている。第7世代および第8世代のフラットパネルディスプレイ（FPD）や65nmプロセス以降の半導体など先端プロセスに対応する。