オーストリアSEZ社は、韓国大手メモリメーカーから枚葉式洗浄装置「Da Vinci」シリーズの「DV-38F」複数台を受注したと発表した。DV-38Fは、300mmウェーハを採用した90nmプロセスの配線工程でポリマー除去に使用される。

　SEZ COO Herwig Petschnig氏は、「最先端の300mm/90nmプロセスの量産においても、同社装置のような枚葉式洗浄装置の有効性が立証された」と述べる。DV-38F は生産性を維持しながらも、個々のプロセスに柔軟に対応できるという。特にメモリーの製造では、DSP＋（Dilute Sulfuric Peroxide Plus）などの新しい薬液が使用され始めており、同社装置もそれらへの対応を完了しているという。