米Novellus　Systems社が同社内にRefurbished Systems Business部門を設立した。自社の200mmウェーハ対応製造装置をリファビッシュし、中古製造装置として販売する。

　300mmウェーハを採用した先端プロセスが主流になりつつあるが、一方でアジア市場を中心に200mmウェーハ/0.18μm以前のプロセスを採用し製造された低価格デバイスの需要が増加している。米Gartner Dataquestの調べによると300mmウェーハの導入が始まった1997年以降で、200mmウェーハを採用した工場の数はアジア地域を中心に48％増加したという。この並行する二つの需要に応えるため、Novellusは同社ラインナップにリファビッシュ製造装置を加えたとしている。同部門では、PECVD装置、W CVD装置、HDP-CVD装置の提供を皮切りにCMP装置やレジスト剥離装置の提供も始めるとしている。