レーザーテックは、マスクブランクス欠陥検査装置「M3320」を発表した。M3320は、同社「MAGICS(Multiple image Acquisition for Giga-bit pattern Inspection with Confocal System)」シリーズの新製品で、従来機「M1320」と同等のスループットを保ちながら欠陥検出感度は異物やピンホールで100nmを達成した。33本のマルチレーザービームで高速走査を行い、コンフォーカル光学系により、高分解能でフレアが発生しない、高S/N比を実現した。光源に高出力Arイオンレーザーを使用する。画像処理回路を31チャンネル同時駆動させることができるため、最大画像処理速度は毎秒31億画素を達成し、スループットは搬送時間を含め1枚5分となった。ガラス基板、Cr膜、ハーフトーン膜、レジストなどの検査に対応する。基板の裏面の反射を全く受けずに基板表面の検査が可能で、独自の光学系）により、基板の反射率に依存しない検査ができる。また、欠陥の3次元形状の観察も可能で、欠陥レビューに対応した。欠陥が傷か異物かの判断を自動で行える機能も搭載している。価格は標準仕様で約3億円。2005年3月17日より受注を開始し、2005年度で約6台（18億円）の受注を見込んでいる。