イスラエルのNova Measuring Instruments社は、米Lam Research社のエッチング装置「2300 Exelan」と統合させた計測装置「NovaScan 3090CD」を発売したと発表した。

　NovaScan 3090CDは、65nmノード以降に対応した、光学系の膜厚およびCD計測装置で、ウェーハサイズは200mmと300mmに対応しスタンドアローン型としても使用できる。前機種の「NovaScan 3060CD」をベース開発されているため、全く同じ構成がNovaScan 3090CDに組み込まれている。そのため、簡単にNovaScan 3060CDからアップグレードが可能になっている。

　NovaScan 3090CDは、遠紫外線から近赤外線までを一つの偏向チャンネルで処理できるため、二次元構造の計測や三次元構造の形状解析を行うことができる。リアルタイムでCDやトレンチ深さ、レジストの厚さ、積層構造の厚さおよび形状の計測を行うことができ、前機種のNovaScan 3060CDと比べ性能を2倍向上されているという。そのため、高いスループットを実現できると同社は説明している。