米Mykrolis社は、米Extraction Systems社を吸収合併すると発表した。今後、ExtracionはMykrolisのGas Microcontamination Control部門の一部となるが、フィルタおよび計測機器の提供を継続する。Mykrolisに吸収されることで、Extracitonは日本、アジア、欧州地域での拡販が可能となり、また、両社の技術を持ち寄ることで汚染制御技術の開発を加速させる。Mykrolisは半導体産業用に流体制御および汚染制御部材の開発・製造を行っている。特に液体のろ過技術では、次世代リソグラフィ工程での採用が期待されている液浸技術にも対応する。

　Extracitonは、化学増幅型レジストを採用したリソグラフィ工程で使用できる分子塩基モニターを製品化、「TMB-193」ではArFリソグラフィに対応しpptレベルで分子汚染を測定可能にした。その他、リソ工程のクリーンルームで容易に試料サンプル収集が可能な「LithoScout」では、LithoScoutを活用した分子汚染の分析サービスにも参入している。