伯東は、米国Brion Technologies社 と日本国内総販売代理店契約を締結し、OPC/RET(Optical Proximity Correction/ Resolution Enhancement Technology) 検証ツール「Tachyon RDI 1100」の発売した。
Tachyon RDI 1100 は、リソグラフィモデルやデータベースハンドリングの問題に応えるため、高速のハードウエアで、画像データ処理を行うシミュレーションエンジン。リソグラフィーシミュレーションやデータベース処理におけるポリゴン手法(エッジ検出方法)とは根本的に異なる技術を用いて、RET アプリケーションのサイクルタイムや生産性、CoOを向上させることができる。画像処理のアルゴリズムを用いた手法を使って、フルチップでシミュレーションや検証を行う。また高速ハードウエアでデータ処理を行うため、チップを製品化するまでの時間を大幅に短縮することが可能になっている。
<特徴>
・画像処理アルゴリズムにより処理速度予測が可能
・高精度なフルチップ対応のシミュレーションシステム
・100% 欠陥検出が可能
・リアルタイム欠陥レビュー