ニコンは第7〜8世代の基板に対応した液晶ディスプレイ（LCD）用露光装置「FX-71S」と「FX-81S」を2005年秋頃に発売すると発表した。11本の投影レンズで構成されたマルチレンズ光学系の搭載により、1スキャンで最大57型パネル、45型パネルなら2面を露光することができる。これにより、スループットを飛躍的に改善することができた。FX-71Sの場合、42型パネルで384枚/時、48型パネルで294枚/時。FX-81Sの場合、45型パネルで384枚/時、52型パネルで240枚/時となっている。また、広い露光面積を確保しながら、3μmという解像度（オプション）を実現している。