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2005年04月19日

FEIが市販の電子顕微鏡で0.07nmの分解能を実現

 米FEI社が、STEM(Scanning Transmission Electron Microscope)「Titan 80-300」を発表した。分解能は、同社がオランダに所有する開発拠点Nanoportにおいて検証され、TEMモードで0.07nm、STEMモードで0.01nmを達成した。Titanは、従来まで先端の電子顕微鏡用としては導入が進んでいなかった収差補正機能のオプションを専用設計し搭載できるが、0.07nmは収差補正を行わずに達成しており、今後補正機能を活用することでさらに微小な原子構造レベルの情報が得られるようになるとしている。

Titan、米ハワイ州Honoluluで開催される2005 Microscopy and Microanalysis Meeting(8月1〜4日開催)で正式に発表される。

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