米VLSI Researchは、世界の半導体製造装置市場2005年第1四半期の受注額は129億米ドル、装置販売額は137億米ドルとなり、Book to Billレシオは0.94になったと発表した。
　 前期比で見ると、受注額は22％増、販売額は8％増となったが、前年同期比では受注額は3.5％減になった。販売額は前年同期比でも8％増と好調だが、これは日本企業の決算月の関係で3月と9月にピークがあることによる。
　 VLSI Researchでは、2005年第2四半期の受注額は一桁台の穏やかな伸びとなり、販売額は第1四半期を下回ると見ている。2005年通期の予測値は変更しておらず、2005年の世界半導体製造装置売上高は前年比3.9％増の540億米ドルになると予想している。

　一方、日本半導体製造装置協会（SEAJ）は、速報値として2005年3月の日本製製造装置のBBレシオが0.81になったと発表している。日本製装置の輸出を含めた受注額（3か月平均）は前月比14.5％増、前年同月比14.1％減の1153億7700万円、販売額（3か月平均）は前月比17.5％増、前年同月比4.4％減の1424億5000万円。これらにより、B/Bレシオは0.81となった。
　 また、SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）は2005年3月の米国製製造装置のBBレシオが0.81になったと発表している。米国製装置の輸出を含めた受注額（3か月平均）は10億2150万米ドル、販売額（3か月平均）は12億6890万米ドルだった。