米Brooks Automation社子会社の米Brooks Software社は、レチクル管理ソリューション「iReticles」の最新バージョン「iReticles 3.0」を発表した。

　iReticles 3.0は、レチクル製造工程を一つの工場にかかわらず企業ベース、サプライチェーンベースでリアルタイムにモニターすることができる。マスク搬送の総合的な管理が可能で、生産ラインの効率化を進め生産性を向上することができるとしている。

　最新バージョンでは「iRFab」および「iREnterprise」の２つのオプションを新しく設定した。
iRFabは単一工場のレチクル管理を行う。多層マスクに対応し、また、マスクリペアや洗浄が工場外にある場合の工場外トラッキングも可能となっている。iREnterpriseでは複数工場およびサプライチェーンのレチクル管理を実行することができる。XMLベースでの通信も可能で、セキュリティも強化されている。