日立ハイテクノロジーズは、英Oxford Instruments社から液体窒素を必要としないエネルギー分散型X線元素分析装置（EDX）の検出器「INCA DryCool」の販売権を取得し、2005年6月から販売を開始すると発表した。初年度20台、3年後には年間40台の販売を予定している。

　これまでにも液体窒素フリーの検出器は他のEDXメーカーから販売されていたが、冷却にコンプレッサを使用するため、高倍率の電子顕微鏡を阻害する場合があった。INCA DryCoolにはアクティブバイブレーションキャンセラが備えられているため、コンプレッサによる振動を最小限に抑えることができ、振動数をパソコンで制御することで電子顕微鏡体との共鳴振動を防ぐことが可能になっている。
　
　 また、コンプレッサが非常に小型なため検出器と一体型できた。これにより冷却時間が非常に短くなり、電源をOFFして検出素子が室温状態にあったとしても、50分以内で測定可能な状態にすることが可能になっている。さらに、通常のコンプレッサでは定期メンテナンスが必要であるが、このコンプレッサはメンテナンスフリー構造になっている。

　同装置の実機を同社走査電子顕微鏡「S-3400N」に搭載し、2005年6月1日〜3日までつくば国際会議場（エポカルつくば）で開催される「日本顕微鏡学会」で展示される。

＜INCA DryCoolの主な仕様＞
検出素子	Si（Li）
有効検出器面積	10mm2
エネルギー分解能	133eV（Mn-Kα）
ウィンドウ	SATWウィンドウ
リセット方式	FET（PENTAFET-5極FET）
検出可能元素	Be-U
サーマルリサイクル	可能
冷却方式	高純度Heガス使用、パルスチューブ方式
検出器冷却時間	室温から93Kに到達してから±0.1Kに安定するまで50分
検出器挿入方式	モーター駆動方式
大きさ＆重量	検出器部 16kg
	PC制御部　 167×452×448mm、16kg アナライザ部 180×330×260mm、4台、1.1〜6.0kg