日立ハイテクノロジーズとトッキは、マルチチャンバ式の新型有機EL蒸着装置を米Universal Display社に納入した。同装置は3社が共同設計したもので、既に稼働を開始している。

　この有機EL蒸着装置は、リジットな透明ガラス基板に加え、フレキシブルプラスチック基板や不透明な金属フォイル基板の搬送、ハンドリング、高精度パターニングが行える。さらに、真空蒸着技術を使用し、さまざまな有機膜および金属膜への成膜が可能なよう設計されている。

　Universal Displayは、有機ELディスプレイの開発と商品化を手がける企業。先ごろ米連邦政府から、フレキシブル有機ELディスプレイの試作品開発契約（契約規模は170万ドル）を獲得した。今後フレキシブル有機ELディスプレイの開発に、累計600万ドルの資金を投入する予定という。