東京エレクトロン（TEL）は、米Therma-Wave社から装置組み込み型測定機（IM：Integrated Metrology）「Compact Critical Dimension-integrated（CCD-i）」製品系列の関連資産を買収する。契約金額は995万ドルで、手続きは米国時間7月1日に完了する予定。そのほかの詳細な取引条件は明らかにしていない。

　Therma-Waveによると、買収の対象には有形資産と知的財産のほか、同製品系列のサポートや製造を担当する従業員も含む。またTherma-WaveはTELに対して、2006会計年度第1四半期（2005年4月〜6月期）にCCD-iシステムを供給していたが、この契約締結を受け、TELから受けていた565万ドル相当の未処理注文を取り消す。

　TELについて、Therma-Wave社長兼CEOのBoris Lipkin氏は「CCD-i製品をTELに売却することで、トラックおよびリソグラフィ装置向けIM製品の投資を直ちに回収できる。獲得した現金を使い、次世代プロセス制御測定システムに向けてリソースを集中させる」と述べる。

　一方、TELクリーントラック事業担当執行役員の伊東晃氏は以下のようにコメントした。「Therma-WaveのCCD-i測定モジュールを入手することで、実績のある装置を当社の半導体製造装置群に加え、ラインアップを補完できる。さらに、全世界のIM顧客から寄せられる要望に対し、継続的に応じる体制の強化にもつながる」。