イスラエルNova Measuring Instruments社は、CMP（Chemical Mechanical Planarization）装置向けに装置組込型計測システム「NovaScan 3090CD」の最新版を発表した。

　NovaScan 3090CDは遠UVの分光測光法や光波散乱計測法を使って非接触でCDやトレンチ深さ、フォトレジストの厚さ、複雑な構造の厚さや形状をリアルタイムで計測することが可能となっており、65nm以降のプロセス管理に適用できる。高スループットで測定することが可能で、プロセス前後で測定することできる。このため、厳しくウェーハ間でプロセス管理を行えるようになっている。

　また、NovaScan 3090CDのシステム構成は、NovaScan 3060CDと全く同じであるためアップグレードすることができる。