本文 　米Advanced Energy社は7月5日、Pressure Insensitive（PI）マスフローコントローラ（MFC）「Aera PI-980」を発表した。流量が非常に安定しているので、プロセス制御性および再現性を高め、歩留まりを向上できるという。

　PI-980は、既存のデジタルMFC「Aera Transformer 780」、「同7800」シリーズを補完する製品。制御技術「NeuralStep」と内蔵した圧力変換器を組み合わせることで、MFCの応答速度を大幅に向上させた。その結果、上流および下流の圧力攪乱による影響を実質的に解消できる。

　また、優れた流量安定性を持つ高速応答性により、プロセスステップの短縮、安定したチャンバーガス供給、精度向上、再現性向上、広いマルチガス制御範囲も実現した。

　「PI-980 MFCを導入すると、従来の高価なガスパネルコンポーネントを多数使用する必要がなくなるため、全体的な所有コスト（CoO）削減につながる。さらにマルチガス-マルチレンジ機能により、余剰在庫を大幅に減らせる」（同社）としている。