米Cymer社と独Carl Zeiss SMT社は、フラットパネルディスプレイ（FPD）用の製造装置の合弁会社「米Team Cymer Zeiss（TCZ）社」を設立した。TCZは、CymerとCarl Zeiss SMTの持つレーザーおよび光学技術をベースに、TFT液晶ディスプレイ（LCD）向け低温ポリシリコン（LTPS）処理の改善を図る製造装置を提供する。

　TCZの本社は米国カリフォルニア州サンディエゴに置き、CEOには元Cymerの新技術&アプリケーション担当Senior Vice PresidentのBrian Klene氏が就任した。取締役会のメンバーは、CymerおよびCarl Zeiss SMTの役員が務める。出資比率は、Cymerが60％、Carl Zeiss SMTが40％。

　TCZは、Cymerのエキシマ光源技術にCarl Zeiss SMTの光学および位置制御技術を組み合わせ、LTPS技術を利用しやすくするための細ビーム結晶化装置を提供していく。「LTPSは歩留まりと品質を最大2倍高めることが可能で、その結果コストの大幅削減にもつながる」（Cymer&Carl Zeiss SMT）

　「今後、コスト効率に優れたディスプレイの需要が高まるので、歩留まりと性能の向上を両立させる必要がある。ところが、現在のFPD製造プロセスではこれに対応できない。我々の製造装置を導入すれば、もはやFPDメーカーにとってLTPSは贅沢品ではなくなり、ますます増える製品でより明るく精細なディスプレイを消費者に提供できる」（Klene氏）

　なおTCZは、細ビーム結晶化装置「TCZ 900X」の詳細を米国時間7月19日に発表した（TCZのニュースリリース）。