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2005年08月26日

サンセーテクニカル、
高速・高精度のX-Y精密ステージ「MSTシリーズ」を発売
最大速度:400mm/s 、精度:0.1μmの位置決めを実現
 サンセーテクニカルは、高速かつ高精度に位置決めを行うことが可能なX-Y(2軸)精密ステージ「MSTシリーズ」の販売を開始した。FPDの生産や検査工程だけでなく、プリント基板や電子部品、加工部品などの生産や検査工程にも適用することができる。同社は、半導体やFPD、電子部品、自動車などの分野で初年度1000台の販売を計画している。

 MSTシリーズは、リニアモータ駆動とリニアスケールを採用しており、高速(最大速度:400mm/s)かつ高精度(精度:0.1μm)に位置決めを行うことできる。ガラス基板はハニカム構造のエアー吸収プレートに固定される。また、シンプルで低重心の構造のためスムーズな動きと優れた安定性を実現している。

 主力のMST-G7080のストロークは700×800mmとなっており、400×500 mmの基板まで適用することができる。ロボットと組み合わせれば、ガラス基板を自動装填・脱却させるなど搬送システムへの対応すること可能。


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