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2005年08月29日

日本MKS、日本市場で新しいAPCソリューションの提供を開始

 日本MKSは、米国親会社MKS Instruments社とスウェーデンUmetrics社との提携発表を受け、日本国内でのAPC (Advanced Process Control)や e-Diagnosticsのターンキー型ソリューションの提供を開始した。

 Umetricsは、多変量解析とモデリングソフトウェアの大手で1987年の創業以来、最新のデータ解析と実験的設計ソフトウェアおよびサービスを提供している。多変量解析の分野では、さまざまな産業分野において世界的に認知されているソフトウェア開発メーカーだという。

 半導体製造分野におけるMKSの実績と、定評あるUmetricsの解析技術を持ち合い、両社は異常検出および分類(FDC:Fault Detection and Classification)技術を完成させた。FDCは、MKSがラインナップする「TOOLweb」シリーズでも注力している分野であり、最先端のFDCソフトウェアをTOOLwebと組み合わせることで、綿密なプロセスモニタリングとリアルタイムAPC技術の最先端ソリューションを提供していくとしている。

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