欧州連合（EU）の欧州委員会（EC）が運営する研究プロジェクトInformation Society Technologies（IST）は、近い将来「soft ultraviolet imprint（SOUVENIR）」と呼ぶ新たなナノインプリントリソグラフィ技術を実用化できると発表した。同技術を採用した装置のコストは20万ユーロ（約24万6700米ドル）未満で、大学や研究機関が試験的にナノレベルのデバイスを製造する際に利用できるという。

　ISTは「さらに開発を進めれば、SOUVENIR対応装置で小規模な量産も行える」と説明する。「原理的には、半導体業界で量産にも使える性能を持っている。我々が試したある方法では、10nmレベルのパターン形成も可能」（SOUVENIRプロジェクト担当者のMarkus Bender氏）と述べる。

　SOUVENIRでは、紫外線で硬化する低粘度のレジスト材をサブストレートにコーティングする。そのサブストレート上のレジストに柔軟性のあるポリマー製金型を押しつけてパターンを形成し、紫外線を照射して硬化させる。金型をレジストに押しつけるため、現在の露光装置と違い、DUV光源を使う必要がない。

　現在のSOUVENIRには課題もある。ISTによると「現行の露光装置を置き換えるには処理速度が遅過ぎる」というのだ。さらに、「高精度の位置決め処理に向け、さらなる改良も必要だ」（IST）。

　しかしISTは、研究が進めばこうした課題は解決するとみる。「オーストリアElectronic Vision Group（EVG）社と密接に協力し、2つの方向から装置の開発に取り組んでいる。2006年には、300mmウェーハ対応ステッパ&リピート装置を商用化できるだろう」（Bender氏）と述べる。

　なおISTは、これまでSOUVENIRに約230万ユーロ（約283万5,900米ドル）の資金を投入してきた。「この額は、EUVリソグラフィに対する投資額に比べ相当少ない」（IST）としている。