米COHERENT社の日本法人コヒレント・ジャパンは、2005年10月1日よりエキシマレーザの販売を開始したと発表した。これは米COHERENT社が旧独Lambda Physik社と旧TuiLaser社のエキシマレーザーメーカー2社を買収し、同社グループの傘下に入ったことによるもの。

　コンパクトな設計で低価格の製品展開を行っていた旧TuiLaser社と、高パルスエネルギー、高生産性用途に対応する製品を持つ旧LambdaPhysik社の両社製品をラインナップし、豊富なエキシマレーザから最適なモデルを提案できるようになったとしている。またコヒレントはUV領域の全固体レーザも多数用意しており、種類にとらわれないUVソリューションを提供できるという。