松下電器産業は、富山県魚津工場の新棟で300mm/65nmプロセスによる民生用システムLSIの量産を開始したと発表した。同社は最先端のシステムLSIをDVDやデジタルテレビ、移動体通信、SD/ネットワーク、イメージセンサー応用製品の5分野にフォーカスして推進していく。
これまで同社は、0.13μmプロセスのシステムLSIでデジタル家電市場を牽引してきたが、さらなる微細化技術の進展に対応するため新棟を建設した。新棟の建設は2004年6月に着工し2005年末に生産の開始を計画していたが、当初の予定から約2ヵ月前倒しして量産を開始した。
この新棟では300mmウェーハの採用に加え、Cu配線やNiSi、超解像度技術などを導入することにより民生機器に必要な高速・低消費電力化と高集積化の両立を図り、生産性向上を実現させている。同社は、65nmプロセスの最初の製品はDVD向けのシステムLSIでセットの小型化や高機能化などに大きく寄与すると説明している。
| 【新棟の概要】 |
| 所在地： |
富山県魚津市東山800番地 |
投資額：
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約1300億円 |
建 屋：
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建築面積 約23000m2、延床面積 約77000m2 |
クリーンルーム：
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約12000m2（総面積） |
生産品目：
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デジタル家電用システムLSI |
生産能力：
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6500枚/月（300mm/65nmプロセス） |
生産開始：
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2005年10月量産出荷 |
