JSRは、CMP工程向けの新しいバリアメタル研磨用パッド「FP8000」シリーズと酸化膜研磨用パッド「FP4000」シリーズを発表した。
同社のCMP用研磨パッドは、独自の新規エラストマー素材と特殊な充填材を均一に分散させた独特の構造を採用している。これにより、不織布タイプや発泡ウレタンタイプのパッドに比べて品質の安定性に優れるうえ、より高い平坦化特性と低いスクラッチ性が得られる。新製品では、独自ポリマー技術を用いて研磨表面と材質の柔軟性を制御し、研磨対象や工程、スラリーの種類に応じて選択できるよう改良した。
バリアメタル研磨用パッドのFP8000シリーズで処理すると、ディープスクラッチ欠陥の数を既存パッドより大幅に減らせる。寿命に至るまでのウェーハ処理枚数が多いという特徴も備えている。同社では「これらの優位性により、不良率の低減や生産性の向上に寄与する」としている。
層間膜研磨、BPSGやSTI研磨工程に適した酸化膜研磨用パッドのFP4000シリーズは、シリカ系スラリーとセリア系のスラリーの両方に適しており、良好な平坦化特性、高研磨レート、低スクラッチ性が特徴である。
JSRでは、12月7日から9日に幕張メッセで開催されるSEMICON Japan 2005に、新製品を出展する。
