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2006年01月20日

JSR、新クリーンルーム棟を竣工
45nm以降の材料開発を加速
 JSRは、四日市地区の同社研究所敷地内に最先端材料の研究開発を行う新クリーンルーム棟を完成した。評価設備等を加えた当初の投資額は約35億円。新クリーンルーム棟のクリーン度はClass10以下、現行の最先端デバイスの製造ラインに匹敵するクリーン度に対応したとしている。
 同社は、今回の研究開発のインフラ強化により、45nmノード以降の半導体製造用材料および液晶ディスプレイ用材料の開発を加速し、競争力強化を図るとしている。

【新クリーンルーム棟の概要】
・建設場所
・建屋
・延床面積
・竣工時期
・投資額
四日市地区研究所
鉄筋コンクリート5階建て
約5200m2
2006年1月20日
約35億円

 
 
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