ウシオ電機傘下の独XTREME technologies社が、米Intel社のベンチャー投資部門Intel Capital社から、EUV（極端紫外線、波長13.5nm）光源開発の促進に向けて資金提供を受けることになったと発表した。2005年12月下旬に戦略的投資の契約書が締結された。

　EUVリソグラフィ技術の開発では、EUV光源が重要課題のひとつとされている。XTREME社長Dr.Uwe Stamm氏は「この投資のおかげで弊社の開発事業を飛躍的に拡大することができるとともに、EUV市場のリーダーとしての立場を強化することができる」と述べる。

　ITRS（International Technology Roadmap for Semiconductor）によれば、2010年までにEUVリソグラフィへの移行が開始されると予測している。 XTREME technologiesは、EUV光源の開発を目的に、独Lambda Phisik社と独JENOPTIK Laser Optik Systeme社が出資し、2001年4月に設立された。ウシオ電機は、2005年7月にLambda Phisikが所有する資本持分を買い取り、JENOPTIK Laser Optik Systemeとそれぞれ50％ずつ保有することとなった。