米KLA-Tencor社は、300mmウェーハ対応の自動欠陥検査装置「Viper 2435」を発表した。すでに出荷を開始している。生産ラインへの新規導入だけでなく、生産現場で既存モデルの「Viper 2430」をアップグレードすることも可能。

　新モデルのViper 2435は、一度の検査で明視野と暗視野の検査チャンネルを同時に機能させるため、最大100枚/時のペースでウェーハのさまざまな欠陥を検出できる。CMP、エッチング、成膜モジュールでViper 2435を使用すると、最先端の検出および識別アルゴリズムとアダプティブスレッシュホルド技術により、生産性を低下させる擬似欠陥を抑え、対処が必要なキラー欠陥に速やかにフラグを立てられる。ウェーハの表面全体およびエッジ損傷のほか、オプションでウェーハ裏面の検査も行える。

　KLA-Tencorの欠陥データ管理ソフトウエア「Klarity」と統合されていて、歩留まりおよび欠陥の原因究明を自動解析し、検査データから対処方法決定までの時間を短縮できる。

　KLA-Tencorでは「擬似欠陥を抑え、広範なマクロ重要欠陥を検出し、速やかにGo/No Goを判定することにより、チップメーカーはエキスカージョンで引き起こされる生産性および歩留まりの問題を未然に防げる」としている。なお、量産に適した装置であり、所有コストが目視検査に比べ67％低減するという。

　KLA-Tencorは、米国カリフォルニア州サンノゼで開催中（2月19日〜24日）のSPIE Microlithography 2006に、Viper 2435などを出展している。