米Advanced Energy(AE)社のマスフローコントローラ(MFC)「Aera Transformer」が、日本のある主要半導体製造装置メーカーから新型装置プラットフォームの標準品として認定された。

　AEによると、「新型プラットフォームへの認定に向けた審査過程において、TransformerシリーズはほかのMFCを常に上回るMTBFを示した」という。MTBFが優れていることから、プラットフォームのダウンタイム低減と、スループットおよび歩留まりの改善に寄与できる。

　またマルチガス・マルチレンジ機能を備え、8機種のみで半導体生産工場全体のガス仕様要求に対応可能である。仕様を変更する際には、従来型MFCと違って再校正を行う必要がない。