米国の調査会社であるVLSI Research社の最新の調査によると、2005年の半導体製造装置市場は前年比7％減の434億ドルとなったと発表した。2005年で好調だったセグメントはプロセス診断装置で、同比横ばいとなった。一方、最大のセグメントであるプロセス装置は同比7.1％の234億ドル、テスト装置および組立装置はそれぞれ同比16.8％減と13.5％減となった。

　プロセス装置の中でも、デバイスメーカーがリソグラフィへの設備投資の割合を大きくしたため、リソグラフィが最大の伸びを記録した。これは193nm露光装置の重要が大きかったためである。この結果、ニコンと蘭ASML社の両社は市場全体の成長率を上回り、2005年プラス成長となった。さらに、米Lam Research社と米Varian Semiconductor Equipment Associates社もそれぞれの市場で売上高が著しい増加した。

　プロセス診断装置メーカーは2005年好調だった。これは65nmへの移行に伴って、APCおよび診断技術の需要が増加したためだ。この結果、プロセス診断装置のセグメントは市場全体の成長率を上回った。中でも米KLA-Tencor社、Accretech(東京精密)、独Vistec Semiconductor Systems社、米Veeco Instruments社およびニコンが売上を伸ばした。

　2005年のテスト装置および組立装置は厳しい1年だった。2005年下半期にビジネスが回復したが前半の落ち込みを打ち消すほどのものではなかった。この結果、2005年のテスト装置およびマテリアル搬送装置市場は、16.8％減の56億ドルとなった。組立装置市場は13.5％減の28億ドルとなった。

　テストおよびマテリアル搬送装置市場で好調だったのは米Delta Design社、Accretech、および米Credence社であった。特に、Delta Designは38％近く成長した。また、AccretechとCredenceの成長率は1桁台だったものの、テスト市場全体を上回った。組立装置市場では、蘭BE Semiconductor Industries社、Accretech、ベルギーICOS Vision社、ルネサス東日本セミコンダクタが売上を伸ばした。

　全体的に2005年は装置メーカーにとって厳しい1年だった。多数の装置メーカーはサイクルタイムの短縮に注力した。2004年に装置を過剰に供給し、2005年前半に在庫を抱えていたため、2005年前半に装置の売上高が予想以上に減少する結果となった。また、大手メモリーメーカーが設備投資を増加したため、装置メーカーは従来よりもメモリーメーカーに注力した。