エスアイアイ・ナノテクノロジー(SIIナノテク)は、マスクデータ検証用の専用ソフトウエアであるマスクルールチェッカー「SmartMRC」を大日本印刷と共同開発した。すでに販売を行っている。基本フルセットの価格は、1CPU当たり3000万円から。

　SmartMRCは、マスク設計データをマスク製造の前段階で確認し、マスク製造および検査工程で発生する諸問題を事前に抽出、チェックするソフトウエア。事前データチェックを行うと、マスク製造欠陥やマスク検査擬似エラーを抑制することで、マスクコスト増大を抑え、納期の短期化を可能とする。主な機能は以下の通り。

・マスクデータに対するマスク描画および検査の限界チェック
・製造されたマスク上のパターン均一性確認のため、SEM用測長ポイントの抽出
・マスクデータ変換およびマスクデータ差し替え時のデータ内容チェック

　マスクデータのチェックに使うマスクデータは、GDSフォーマットに変換せず直接読み込める。マスクデータ特有のリバースパターンもそのまま処理できるため、チェックだけのためにデータ変換を行う必要がない。ネットワーク分散機能を備え、数10台規模のシステムで並列処理が行える。

　SIIナノテクでは、4月18日〜20日にパシフィコ横浜で開催されるPhotomask Japan 2006(第13回ホトマスク技術展示会)に、SmartMRCを出展する予定だ。