米VLSI Research社は、半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、データストレージ用の製造装置に使用される装置部品の2005年売上高上位10社を発表した。
　独Carl Zeiss社が英BOC Edwards社を抑え、5億3900万ドルで首位の座を獲得した。Carl ZeissはArF露光装置用の光学系の売上が寄与し、上位に返り咲いた。米MKS Instruments社は、3位を堅持。4位は、米Advanced Energy社に代わり米Brooks Automation社がランクイン。Brooksは米Helix Technologies社を買収したことで売上高を増加させた。6位以降では、6位は米Cymer社、7位米Asyst Technologies社、8位は独Leybold Vacuum社、荏原製作所が続いた。堀場製作所は仏Alcatel Vacuum Technology社を抜き10位となった。

2005年サブシステム上位10社 (出典：米VLSI Research社)

　装置部品業界で昨年行われたいくつかの買収・合併案件は、2005年の市場に大きな影響はなかったが、2006年には何らかの順位変動が見られると予測している。特にBrooksによるHelixの買収、米Celerity社による米Mykrolis社マスフローコントローラ部門の買収は、2006年の順位に大きな影響を与えそうだという。

　2005年は、装置周辺部品メーカーにとっておおむね良い年であったが、第4四半期の需要増にもかかわらず売上高の増加には至らなかった模様。同業界の2005年売上高は前年比8.2％減の52億ドルになった。