2006年のウェーハ処理/プロセス診断装置ベンダー顧客満足度、トップはAgilent、日新イオン機器、Varianと続く、VLSI Research調べ

　米VLSI Research社が、ウェーハ処理装置およびプロセス診断装置ベンダーの顧客満足度に関する調査結果を発表した。2006年における分野別の顧客満足度トップは、プロセス診断装置ベンダーが米Agilent Technologies社、ウェーハ処理装置の小規模ベンダーが日新イオン機器、ウェーハ処理装置の大規模ベンダーが米Varian Semiconductor社となった。

　上位10社のほとんどは、いずれかの判定項目で最高得点を獲得していた。ただし、顧客サービス項目で最高得点を取ったベンダーは、蘭ASML社、オーストリアEV Group(EVG)社、日新イオン機器の3社だけだった。

　プロセス診断装置分野では、装置を選定する際に、顧客は装置の性能基準を最も重要視していた。ウェーハ処理装置の小規模ベンダーについては、顧客サービス項目で最高得点を獲得できたのは10社中2社にとどまった。ウェーハ処理装置の小規模ベンダーの中で、Varian Semiconductorは13項目中7つの項目で最高得点を記録した。

ウェーハ処理装置およびプロセス診断装置ベンダーの顧客満足度