ST、イタリアにMEMS専用の200mmウェーハ製造工場を建設

　伊仏合弁会社のSTMicroelectronics(ST)は、イタリアのミラノに近い同社アグラテ工場にMEMSデバイス専用の200mm半導体ウェーハ製造ラインを落成したと発表した。同社では、主要MEMSメーカーに先駆けて200mmウェーハを使用してデバイスを生産することでコストを抑え、現行のMEMSビジネスの拡大と新規市場開拓を加速させることができるとしている。
　同社は約4000万ドルを投資して、従来の150mmウェーハ製造エリアを200mmウェーハのMEMS製造ラインに転換。現時点でおよそ1300m²のMEMSデバイス専用の新ラインで100人以上が製造作業を行っており、カステレットを拠点とするMEMS研究開発活動のサポートも行う。なお、このMEMS専用エリアは市場の需要増に合わせて2500m²まで拡張する予定である。
　Siが持つ電気特性と機械特性を同時に活かすMEMS技術は、PC、自動車、産業分野など幅広いアプリケーションで急速に拡大している。これらの分野では、エネルギーの節約、機器の操作性向上、およびゲーム･システムでのさらなるリアリティの追求と対話型操作という面で、物理的な動きや傾きを測定または検出する機能が重要になると考えられる。全世界のMEMS市場は2005年から2010年までの5年間で約100％の成長が見込まれ、2010年には100億ドル規模に到達すると予測されている。STでは今後、拡大する市場ニーズに応えるべく加速度センサー、ジャイロスコープ、超小型マイク、圧力センサーなどのMEMS製品を製造し、同分野におけるリーダーシップをさらに強化していきたい考え。