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アジレント、新型パラメトリックテスターを発表、
NAND型フラッシュへの対応を強化

[issued: 2007.04.09]

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　アジレント・テクノロジーが、新しいパラメトリックテストプラットフォーム「Agilent 4080」シリーズを発表した。Agilent 4080では、既存の「Agilent 4070」シリーズと互換性を維持したまま、高速なCPUを採用し、また、「Virtual Multiple Testhead Technology」を採用することでスループットを10～20％改善した。

　 Agilent 4080シリーズは、同社「Agilent SPECS(半導体プロセス評価用テストシェル)」と組み合わせることで、非同期および同期パラレルテストの両方を実現した。同期パラレル測定は、小規模に配列されたデバイスを測るのに効率的。さらに、独自のVirtual Multiple Testhead Technologyでは「非同期パラレル」テストが可能となった。非同期パラレルテストでは、複数の異なるテストを完全に独立して実行できるようになっている。この非同期パラレルテストにより、最大で50％のテストタイム短縮を実現した。

　アジレントによると、先端プロセスを採用した半導体工場では、微細化および新材料や新構造のトランジスタの導入により今までにも増して、測定項目や測定量が増大しているという。テストコストを削減するためにパラレルテストのニーズが増大しており、また、フラッシュメモリーのセル評価、RF Sパラメータ測定などが求められている。さらに先端プロセスでは、例えば拡散工程やリソグラフィ工程のLER(Line Edge Roughness)などによりデバイスのばらつきが増大しており、高精度の測定が求められている。

Agilent4080と東京エレクトロンのウェーハプローバ「Precio」

　Agilent 4080シリーズは、同一アーキテクチャをベースに3モデルをラインナップ。全機種で、微小電流性能、超微小電流性能の2種類のスイッチング・マトリックスカード構成が選択可能となっている。

　量産向けの基本モデルは「Agilent 4082A」。フラッシュメモリー用の「Agilent 4082F」は、半導体パルス・ジェネレータ・ユニット(SPGU)メインフレームと、高電圧SPGU(HV-SPGU)モジュールを標準搭載した。同機種のHV-SPGUは、±40V(80V ピーク・トゥ・ピーク)の高電圧出力と、最速20nsのパルスの立ち上がり/立ち下がり時間、最高2mVまでの分解能を有しており、最先端フラッシュメモリーの評価を可能にしている。特に高電圧対応のものでは、半導体用に特化したものは今までなく、NAND型フラッシュメモリーでパルスを適用した評価はできなかった。また、「Agilent 4083A」は、DC/RF用で、テストヘッドに20GHzに対応した8×10のRFマトリックスを搭載。1回のタッチダウンで最大5個のRFデバイスの測定が可能。ウェーハへのコンタクト回数を減らせるため、プローブカードの寿命を延ばすことができる。

　 Agilent 4080シリーズのシステムソフトウェアは、Linux上で動作。既存の4070シリーズからプログラムをほとんど修正することなく4080シリーズに移行することが可能。価格は、ベースモデルの4082Aで約2400万円から。