住友精密工業は、米国のMEMS製造装置メーカーであるPrimaxx社を買収し、子会社化したと発表した。
　アクチュエータやセンサーなどのMEMSデバイスの多くは可動部を有しており、その可動部は犠牲層をエッチングすることにより形成される。PrimaxxはMEMS製造工程で特有の犠牲層のエッチング装置の製造販売を行っているメーカー。
　住友精密はこれまで、MEMSデバイス形成に必須となるSi深堀エッチング装置を産業システム事業部および関連会社の英Surface Technology Systems社(STS)と共に日本を含む世界市場へ提供してきた。Si深堀エッチング工程と密接に繋がる犠牲層エッチングについては、2004年暮れからPrimaxxの犠牲層エッチング装置の輸入販売を開始、2006年から日本国内で製造販売を行ってきた。
　今回、Primaxxを同社の傘下に納めることにより、STSと共にMEMS製造においてより幅広いソリューションを提供することが可能になるとしている。

＜Primaxx社の概要＞
所在地：7311 William Avenue, #800, Allenton, PA 18106.USA
設立：1998年(米SubMicron Systems社から分離独立)
事業内容：Si酸化膜犠牲層エッチング装置などの製造販売