大日本印刷（DNP）は、MEMS技術を応用したマイクロ流路チップを東京大学の竹内昌治准教授の研究グループと共同で開発したと発表した。同チップは、半導体で使われるSi材料を用い、基材上に微細な流路とくぼみをパターン形成したもの。今回の成果を基に、DNPはバイオMEMSの試作・量産サービスを本格的に開始する。
　竹内准教授の研究グループでは、数μm～数百μm幅の流路とくぼみがパターン形成されたマイクロ流路チップの設計・開発を行っている。このチップに細胞や微小粒子を含む溶液を流すと、細胞や微粒子がくぼみに個々に取り込まれ、それらを等間隔に配置することができる。また、レーザー照射によって狙った細胞や微粒子を分離することができ、タンパク質の機能解析や創薬などへの利用が期待される。DNPは今回、同研究グループの設計を基に、無機材料であるSiとガラスを用いた新たなマイクロ流路チップを試作した。
　共同開発したMEMSチップは、ガラス/Si/ガラスの3層構造で、DNPのSi深掘り技術によって中間のSi層を貫通エッチングして流路を形成しているため、透過観察が可能。バイオMEMS作成でよく使用されるポリジメチルシロキサンなどの有機材料の代わりに、硬度の高いSiを基材に使用することで、サンプル溶液の流速を上げたときに生じる圧力による変形がなく、短時間での分析・解析ができる。耐熱性もあり、試薬などの有機溶剤による基材の膨張や腐食の心配もない。また、200mmウェーハで試作しているため、1枚のウェーハからとれるチップ数が多く、量産の際には低コスト化が可能としている。
　今後DNPは、竹内准教授の研究グループと、さまざまな条件下での実験を行い、チップの性能・適用範囲を確認するとともに、大学や研究機関をはじめ、医療機器メーカー、製薬会社、電機メーカー向けに、バイオMEMSの試作・量産サービスを展開していくという。
　なお、DNPは7月25日から東京ビッグサイトにて開催される「第18回マイクロマシン/MEMS展」にて今回開発したバイオMEMSチップを展示する予定。