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オーク設備工業と大林組、中小型クリーンルームシステムを共同開発

[issued: 2007.08.15]

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 オーク設備工業と大林組は、少量多品種製造の半導体工場や電子部品工場、研究施設などの中小型クリーンルームを必要とする工場等に適した、MSCR(Medium and Small sized Clean Room/中小型クリーンルームシステム)を共同開発した。MSCRは、タイプ別に標準化したシステム建築を採用することにより、従来工法と比べて設計開始から竣工までの工期を約2ヵ月間短縮、建築工事費は約10%のコスト削減を実現している。
 従来の半導体工場は、大型クリーンルームを持つ工場(メガファブ)が主流であるが、少量多品種製造や研究開発・試作を行う場合は中小型のクリーンルームの方が効率的である。ただ、これまでは中小型クリーンルームを持つ工場を建設する場合、大型クリーンルームを持つ工場と同じ概念・方法で設計・建設していたため、多くの時間とコストがかかっていた。
 今回両社が開発したMSCRは、あらかじめ工場で加工した部材を現場で組み立てるだけで建設できるシステム建築を採用。柱間隔の統一や構造部材を標準化することで、従来現場で行っていた生コン打設や部材の加工作業が不要。これにより、従来工法では、設計開始から竣工までに約8.5ヵ月かかっていたものが、標準モデル「一般タイプ」では、約6.5ヵ月と約2ヵ月間の工期を短縮、建築工事費においては10%のコスト削減を実現したという。
 電子部品工場および研究施設に適した「一般タイプ」と、清浄度が高く、床下に空気の流通路を確保するなど、半導体工場に適した「高機能タイプ」の2種類の標準モデルが用意されている。
 同システムはクリーンルームの接続や拡張によって施設増築が可能であり、清浄度、低アウトガス対応、微振動対応、生産機器支援設備といった各種オプションメニューを組み合わせることができる。







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