News Center
チッソ、インクジェット対応の高濃度ポリイミド絶縁材料を開発
[issued: 2007.08.22]
チッソは、インクジェット印刷法に対応した高濃度で厚膜化が可能なポリイミド絶縁性インクを開発したと発表した。
同社が開発した絶縁性インクはポリイミド系の絶縁材料で、電気絶縁性に加え耐熱性や耐薬品性にも優れる。固形分の高濃度化(25~60wt.%)により厚膜化にも対応が可能で、ポリイミド溶剤としてNMP(N-メチル-2-ピロリドン)を使用しないため印刷装置などの腐食の心配もない。
絶縁材料はエレクトロニクス製品に欠かせない材料で、集積回路の金属配線を絶縁する際に用いられる。近年、電子部品分野における配線の微細化や基板の多層化が進んでおり、絶縁材料も複雑で微細な形状パターンへの対応が求められてきている。現在は主にフォトリソグラフィ法が用いられているが、同方法は、露光、現像といった工程が長く煩雑で、大型の設備が必要であるとともに、現像時の材料ロス、コスト削減や環境負荷対策などが課題とされてきた。
同社が開発した絶縁性インクを使用することで、インクジェット印刷法による微細なパターン形成が可能になる。必要なところに必要なだけ塗布できるためコストや環境負荷に優れ、製造工程をが簡素化し、設備費用の低減が可能になるという。
同社が開発した絶縁性インクはポリイミド系の絶縁材料で、電気絶縁性に加え耐熱性や耐薬品性にも優れる。固形分の高濃度化(25~60wt.%)により厚膜化にも対応が可能で、ポリイミド溶剤としてNMP(N-メチル-2-ピロリドン)を使用しないため印刷装置などの腐食の心配もない。
絶縁材料はエレクトロニクス製品に欠かせない材料で、集積回路の金属配線を絶縁する際に用いられる。近年、電子部品分野における配線の微細化や基板の多層化が進んでおり、絶縁材料も複雑で微細な形状パターンへの対応が求められてきている。現在は主にフォトリソグラフィ法が用いられているが、同方法は、露光、現像といった工程が長く煩雑で、大型の設備が必要であるとともに、現像時の材料ロス、コスト削減や環境負荷対策などが課題とされてきた。
同社が開発した絶縁性インクを使用することで、インクジェット印刷法による微細なパターン形成が可能になる。必要なところに必要なだけ塗布できるためコストや環境負荷に優れ、製造工程をが簡素化し、設備費用の低減が可能になるという。
TOP 10 ページ
- 2008年上半期の半導体メーカーランキング、 ——IC Insightsが発表
- 450mm対応装置開発を大手半導体メーカーが支援する可能性!?
- 2008年Q3のDRAM市場が再び下降の兆し、回復は2009年後半か ——iSuppli社の報告から
- エルピーダと中国投資会社SVG、 中国蘇州にDRAM合弁会社を設立することで合意
- 太陽光発電:5年後にグリッド電力と競合へ
- メモリーへのCu配線の導入
- 最大手3社がごり押しする450mm大口径化
- SOIウェーハ市場、2012年までに11億ドルに達するとの予測 ——VLSI Researchの報告から
- 3次元配線が上昇気流に
- 「半導体製造におけるアウトソーシングは必要不可欠」 ——Gartnerが報告
SI Japan テクニカルセミナー
EVENTS
-
Industrial Design セミナー
-モノづくりにおける意匠設計とそのデータ活用-
2008年 07月31日ー2007年07月31日
虎ノ門パストラルホテル(東京) -
第19回マイクロマシン/MEMS展
2008年 07月30日ー2007年08月01日
東京ビックサイト(東京) -
PVJapan 2008
2008年 07月30日ー2007年08月01日
東京ビックサイト(東京)










