東レ、ポジ型感光性ポリイミドコーティング剤の生産設備を増強

　東レは、半導体保護膜用途における旺盛な需要に対応するため、滋賀事業場(滋賀県大津市)で生産する感光性ポリイミドコーティング剤「フォトニース」ポジ型タイプの生産設備増強を行い、工事を完了したと発表した。投資額は約10億円で、生産能力は現行の3倍となる年産150tに拡大。同社では新製造ラインで生産した製品を9月から出荷開始する予定。

　半導体保護膜に使用されるポリイミドコーティング剤の世界市場は、非感光性タイプ、感光性ネガ型タイプ、感光性ポジ型タイプを合わせて約200億円と推定されるが、300mmウェーハによる45nm以下の微細加工デバイス向けを中心に、2010年には300億円まで拡大する見込みという。中でも感光性ポジ型タイプは、最も微細加工性に優れ、かつ環境にやさしいアルカリ水溶液による現像が可能であることから需要が増大しており、2010年には半導体保護膜用途全体の半数以上を占めると予想されているという。

　東レは、ポジ型タイプの感光性ポリイミドコーティング剤としてフォトニースを2000年に事業化。独自の分子設計技術を駆使することで高い微細加工性、解像寸法均一性、塗布膜厚均一性、低温硬化性を実現、300mmウェーハライン向け半導体保護膜用途として50％以上のシェアを有するという。

　同社は今後、伸長が期待されるポジ型タイプの設備増強により事業拡大を図り、2010年には300mmウェーハライン向け70％、ポジ型全体で50％以上のシェア獲得を目指す。また、半導体保護膜以外の新規用途開拓も積極的に推進しており、有機ELディスプレイの隔壁絶縁材料などの製品開発も進めている。ポジ型タイプを中心に新規用途開拓を加速させ、5年後には非感光性タイプ、感光性ネガ型タイプも合わせたポリイミドコーティング剤事業全体で100億円規模の売上高を目指すという。